產品詳情
邁浦特機械高低溫一體機針對半導體晶圓制造開發,整合三通道熱管理架構:
- 潔凈循環系統:全管路EP級拋光,導熱介質經0.1μm過濾,杜絕顆粒污染;
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相變緩沖技術:蒸發器內填充石蠟PCM(相變潛熱250kJ/kg),吸收±0.2℃瞬時波動
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冷熱物理隔離:制冷單元與加熱單元分離布局,避免相互干擾。
±0.1℃精度核心技術: - MPC模型預測控制:建立壓縮機、閥門、負載的熱力學模型,滾動優化功率輸出;
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冗余雙循環泵:主泵故障時0.1秒切換備用泵,流量波動<1%;
在MOCVD鍍膜工藝中,晶圓表面溫差≤0.08℃,LED外延片良率提升15%





