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由于多軸精密定位系統(tǒng)的五個(gè)直線移動(dòng)部件，特別是移動(dòng)電容板、微調(diào)電容的驅(qū)動(dòng)及控制存在著較高的定位精度、重復(fù)定位精度和較小的步距，且無嚴(yán)格的快速響應(yīng)性要求，系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)控制采用位置閉環(huán)的方式是比較合適的。
電機(jī)驅(qū)動(dòng)同電機(jī)直接連接的滾珠絲杠實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)-直線轉(zhuǎn)換，采用高分辨率的直線感應(yīng)同步器作為直線位置閉環(huán)反饋元件。控制原理：考慮到各驅(qū)動(dòng)對(duì)象的驅(qū)動(dòng)主要為微動(dòng)步進(jìn)方式，軸向負(fù)載變化不大，無多檔變速要求，驅(qū)動(dòng)電機(jī)擬采用混合式步進(jìn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)。
但由于短路片、移動(dòng)電容板a‰b負(fù)載力矩大于20n*m，且采用的滾珠絲杠傳動(dòng)不能自鎖，而大于20n*m高轉(zhuǎn)矩步進(jìn)電機(jī)特別是帶有失電制動(dòng)器的步進(jìn)電機(jī)定貨比較困難，因而短路片、移動(dòng)電容板的驅(qū)動(dòng)選用交流伺服電機(jī)mdfkabs090-22，60及與之匹配的位置型伺服控制器evs-9325ep；微調(diào)電容的驅(qū)動(dòng)選用步進(jìn)電機(jī)simostep1fl3061及步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器fmstepdrive；耦合環(huán)的驅(qū)動(dòng)由于采用的滾動(dòng)絲杠傳動(dòng)具有自鎖能力，故選用五相混合式步進(jìn)電機(jī)及其適配的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器。
位置閉環(huán)系統(tǒng)的精度理論上決定于閉環(huán)位置的精度。本系統(tǒng)各驅(qū)動(dòng)對(duì)象都采用1級(jí)直線感應(yīng)同步器作為位置反饋傳感器，配用相應(yīng)的l級(jí)數(shù)顯表實(shí)現(xiàn)直線位置的數(shù)字化功能，完全可以滿足該系統(tǒng)對(duì)反饋傳感器的精度要求。