產品詳情
用于重型物鏡的具有長行程的高動態掃描系統
用于大型物鏡的高動態定位和掃描
諧振頻率 1120 Hz;560 Hz,210 g 物鏡質量
典型。步進和穩定約 6 ms
行程范圍 100 μm
采用直接測量電容傳感器,具有的線性度、穩定性和控制動態
分辨率 0.3 納米
零間隙、高精度撓性導軌系統,對焦穩定性更好

應用領域
超分辨率顯微鏡
光碟顯微鏡
共聚焦顯微鏡
3-D 成像
篩選
干涉測量
測量技術
自動對焦系統
生物技術
半導體測試
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,無需接觸。它們保證了出色的運動線性度、長期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。
自動配置和快速組件更換
機械裝置和控制器可根據需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械裝置的 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時,數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。
PICMA ®壓電執行器具有出色的使用壽命
獲得專利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導致的潮濕和故障。PICMA® 執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍。證明了 1000 億次循環而沒有一次故障。
零間隙撓性導軌帶來高導向精度
撓性導軌無需維護、摩擦和磨損,也不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且它們對沖擊和振動不敏感。它們是 真空兼容的,可在很寬的溫度范圍內工作。
直接位置測量帶來的精度
運動在運動平臺上直接測量,不受驅動或導向元件的任何影響。這可以實現的可重復性、出色的穩定性以及剛性、快速響應的控制。
PI高負載物鏡掃描儀P-726 PIFOC



