產品詳情
應用場景
- MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）前級抽氣：
為分子泵或渦輪泵提供前級真空（10?2~10?1 Pa），快速建立反應腔基礎真空環境，確保GaN、AlGaN等外延層的高質量生長。
- LED封裝真空除泡：
在環氧樹脂/硅膠封裝工藝中，抽除氣泡（殘氧量＜0.5%），提升透光率與器件可靠性。
- 電極金屬化工藝：
輔助電子束蒸發或濺射鍍膜設備，維持低真空環境（10?1~10?3 Pa），確保金屬電極（如Al、Ag）均勻附著。
技術適配優勢
維度
技術表現
行業價值
快速抽氣能力
抽速200~1000 L/min，5分鐘內達10?2 Pa
縮短MOCVD設備啟動時間，產能提升15%~20%
成本效益
采購與維護成本為干式泵的 1/3~1/2
中小型LED廠降本增效
耐腐蝕設計
不銹鋼泵體+氟橡膠密封，耐受NH?、TMGa等氣體
延長MOCVD工藝中泵體壽命至 3萬小時
油污染控制
配置分子篩吸附器+低溫冷阱，油蒸氣＜0.01 ppm
滿足LED外延層潔凈度要求（Class 1000）
與干式泵的對比及適用性
指標
油式旋片泵
干式泵
極限真空
10?2 Pa（前級適用）
10?3~10?? Pa（主泵級）
潔凈度
需過濾系統，適合非核心制程
無油污染，適合外延生長等敏感環節
維護成本
年維護費約$800（含換油與濾芯）
年維護費約 $3000（螺桿磨損更換）
適用環節
前級抽氣、封裝除泡、電極金屬化
MOCVD主泵、高精度鍍膜
- 案例1：Mini LED封裝真空除泡**
- 痛點：傳統泵殘氧量高（＞1%），導致封裝層氣泡缺陷率8%。
-方案：愛發科 **VDN-200油泵+油霧過濾模塊。
- 成果：殘氧量 0.3%，氣泡缺陷率降至 0.5%，年節省返工成本 50萬元。
- 案例2：藍寶石襯底清洗干燥
- 痛點：清洗后表面水氧殘留導致外延缺陷。
- 方案：真空干燥系統搭載 G-150D油泵（極限真空5×10?2 Pa）。
- 成果：干燥時間縮短 40%，襯底表面潔凈度達 Sa≤0.2nm。
注意事項
- 油蒸氣管理**：
高精度外延生長環節需加裝低溫冷阱+活性炭吸附器，避免烴類污染。
-工藝氣體兼容性：
處理腐蝕性氣體（如Cl?）時，需選配 耐腐蝕涂層泵體。
- 定期維護：
每2000小時更換專用真空泵油（推薦ULVAC原廠ISO VG 100），防止油品劣化。
未來技術延伸
- 智能變頻控制：
根據MOCVD工藝氣體流量動態調節抽速，能耗再降 15%。
- 物聯網預警系統：
實時監測油品狀態與泵體振動，故障率減少 50%。
愛發科油式旋片真空泵以 高性價比、快速響應與靈活適配，成為LED制造中前級抽氣、封裝除泡等環節的可靠選擇。通過 油污染控制技術升級，其在非核心敏感工藝中可替代部分干式泵，顯著降低綜合成本，助力LED企業提升競爭力。
適用推薦：中小型LED廠、封裝代工廠、輔材加工線；慎用場景：高精度MOCVD外延生長主泵級真空需求。
