產(chǎn)品詳情
核心產(chǎn)品線及特點
1. 干式真空泵（Dry Vacuum Pumps）
- 無油污染設計：
采用爪式、螺桿式或渦旋式結構，零潤滑油，杜絕油蒸氣反流，滿足半導體、制藥等行業(yè)潔凈度要求（顆粒物＜0.1 μm，碳氫化合物＜0.01 ppm）。
- 耐腐蝕性能：
鍍鎳涂層或陶瓷轉子，耐受Cl?、CF?、O?等腐蝕性氣體（如等離子刻蝕工藝）。
- 節(jié)能高效：
變頻驅動（VSD）技術，能耗降低30%~50%，適配24小時連續(xù)生產(chǎn)。
代表型號：
-nXDS系列：抽速10~600 m3/h，極限真空≤1×10?2 mbar，適配半導體刻蝕與薄膜沉積。
- STP系列：耐腐蝕設計，用于光伏電池鍍膜與LED制造。
2. 渦輪分子泵（Turbo Molecular Pumps）
- 超高真空性能：
磁懸浮或陶瓷軸承技術，極限真空達10?1?~10?11 mbar，適配高精度鍍膜、粒子加速器、質譜分析。
- 高速穩(wěn)定：
轉速90,000 RPM，抽速200~5,000 L/s（氫氣），支持快速抽氣與壓力穩(wěn)定控制。
- 智能監(jiān)控：
集成振動傳感器與溫度保護，故障率降低80%。
代表型號：
- EXT系列磁懸浮泵：零機械磨損，壽命＞100,000小時，用于EUV光刻與先進半導體工藝。
-nEXT系列：緊湊型設計，適配實驗室與小型設備。
3. 低溫泵（Cryopumps）
- 超大抽速：
對水蒸氣、氫氣等氣體抽速達10,000~50,000 L/s，極限真空≤10?1? mbar。
-無震動干擾：
無機械運動部件，適配電子顯微鏡、表面分析儀等精密儀器。
- 快速再生：
自動加熱再生周期＜2小時，減少停機時間。
代表型號：
-CoolPak系列：集成冷頭與壓縮機，適配真空鍍膜與空間模擬。
關鍵性能優(yōu)勢
維度
技術表現(xiàn)
行業(yè)價值
潔凈度
全干式無油設計，顆粒物排放＜0.1 μm
滿足半導體、制藥超潔凈需求
極限真空
干式泵：10?2 mbar；分子泵：10?11 mbar
適配高精度科研與先進制程
耐腐蝕性
陶瓷/鍍鎳轉子耐受Cl?、O?、NF?等離子體氣體
延長刻蝕與CVD工藝設備壽命
能效比
變頻驅動節(jié)能30%~50%，IE4高效電機
年省電費超$10,000（以50kW機型計）
智能化
IoT遠程監(jiān)控+預測性維護，故障預警準確率＞90%
減少非計劃停機，提升OEE 15%~20%
典型應用場景
1. 半導體制造
- EUV光刻：EXT磁懸浮分子泵維持超低真空（10?? mbar），保障光刻膠無污染。
- 原子層沉積（ALD）：nXDS干式泵快速抽除前驅體氣體，膜厚均勻性±0.1 nm。
2. 光伏與顯示行業(yè)
- OLED蒸鍍：STP干式泵耐高溫（150℃），抽速穩(wěn)定保障有機材料均勻沉積。
- 鈣鈦礦電池鍍膜：渦輪分子泵+低溫泵組合，真空度達10?? mbar，減少缺陷。
3. 科研與醫(yī)療
- 同步輻射光源：低溫泵抽速50,000 L/s，維持超高真空束線環(huán)境。
- 冷凍電鏡：無振動低溫泵保障亞埃級成像精度。
4. 工業(yè)制造
- 真空釬焊：干式泵快速排除氧化氣體，焊縫強度提升30%。
- 真空冶金：分子泵組實現(xiàn)10?? mbar環(huán)境，提升金屬純度。
客戶價值
1.技術領先：
- 磁懸浮分子泵、耐腐蝕干式泵等技術，打破國際壟斷。
- 適配3nm以下先進半導體制程與EUV光刻需求。
2. 成本優(yōu)化：
- 干式泵免潤滑油維護，年節(jié)省耗材費用$5,000~$20,000。
- 智能監(jiān)控系統(tǒng)減少意外停機損失，綜合成本降低25%。
3. 可持續(xù)性：
- 低能耗設計減少碳足跡，兼容綠色工廠標準（ISO 50001）。
- 長壽命設計（分子泵壽命＞10萬小時），減少設備更換頻次。
選型建議
應用場景
推薦產(chǎn)品
關鍵配置
半導體刻蝕
nXDS系列干式泵
耐Cl?腐蝕涂層+變頻驅動
EUV光刻
EXT系列磁懸浮分子泵
極限真空10?? mbar+遠程監(jiān)控模塊
實驗室分析
nEXT渦輪分子泵
緊湊設計+低振動軸承
真空鍍膜
CoolPak低溫泵
抽速20,000 L/s+自動再生功能
- 半導體行業(yè)：突破EUV光刻與3nm制程真空技術瓶頸；
- 光伏與顯示：保障OLED與鈣鈦礦電池量產(chǎn)良率；
- 科研醫(yī)療：為超精密儀器提供無振動、超高真空環(huán)境。
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