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光化學及光催化氧化法是目前研究較多的一項高級氧化技術。所謂光催化反應，就是在光的作用下進行的化學反應。光化學反應需要分子吸收特定波長的電磁輻射，受激產生分子激發態，然后會發生化學反應生成新的物質，或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量，在太陽能的利用中光電轉化以及光化學轉化一直是十分活躍的研究領域。
光催化氧化技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CHCl3、CCl4、多氯聯苯等難降解物質。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，使H2O2分解產生羥基自由基的速率大大加快，促進有機物的氧化去除。
??大自然具有十分強大的自我修復功能， 例如排放在大氣中的廢氣物質，經過一段時間廢氣物質會慢慢被分解掉，其中最主要的過程是發生了光化學反應。廢氣物質通過吸收光子或其他粒子的能量，使得化學鍵斷裂，形成游離態的原子，再經過一系列的氧化還原等反應，最終生成 H 2 O 和 CO 2 等簡單物質。
由于與有機廢氣的燃燒本質一樣，都是通過分子吸收能量（燃燒吸收的熱能，光解吸收的是光子能量）被裂解后氧化生成簡單物質，而光解的反應溫度為常溫，故我們也習慣稱其為“冷燃燒”
