產(chǎn)品詳情
邁浦特機(jī)械高低溫一體機(jī)針對半導(dǎo)體制造環(huán)境設(shè)計:
- 雙循環(huán)隔離:主循環(huán)(硅油)與晶圓載臺循環(huán)(去離子水)通過鈦板換換熱,杜絕油污染;
- 減振結(jié)構(gòu):渦旋壓縮機(jī)+氣墊減震基座,配合軟管連接載臺;
- 露點控制:-65℃工況下,吸附式干燥機(jī)維持露點≤-60℃,防止晶圓結(jié)霜
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- 溫度范圍:-65℃~300℃;
- 潔凈度:Class 10級(ISO 14644);
- 控溫精度:±0.1℃(300℃以下);
- 振動控制:振幅<5μm;
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通訊協(xié)議:SECS/GEM半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)






