主營產品：高低溫一體機 模溫機 冷水機組 螺桿冷水機 冷熱一體機
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 邁浦特MAIPT | 型號 | MPTD |
| 產品別名 | 冷熱一體機 | 產品用途 | 控溫 |
| 適用原料 | 硅油（介質,間接加熱） | 電動機功率 | 根據客戶要求定制 |
| 規格 | 其他 | 重量 | 175~2251kg |
| 是否進口 | 否 | 加工定制 | 是 |
| 產地 | 其他 | ||
邁浦特機械高低溫一體機針對晶圓測試的微振動與污染敏感性問題，設備采用雙循環隔離設計：主循環（硅油）與晶圓載臺循環（去離子水）通過鈦合金板式換熱器隔離，杜絕油污染風險。制冷系統采用復疊式壓縮技術：高溫級壓縮機（R404a）預冷介質至-40℃，低溫級（R23）進一步降溫至-65℃，通過比例調節閥按需輸出冷量，避免溫度過沖。
恒溫階段依托動態補償算法：PLC實時比對載臺溫度，自動調節加熱器（石英管）與制冷功率，抵消激光器發熱影響。例如在射頻芯片測試中，系統維持26GHz~110GHz信號穩定性，溫度波動≤0.1%。安全設計包括三重防護：液氮蓄冷罐應急供冷（主壓縮機故障時）、吸附式干燥機維持露點≤-60℃防結霜、氣墊減震基座隔絕振動
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