主營產品：光學器件、光電設備、電子設備
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 超邁光電 | 型號 | CM-014 |
| 材質 | 不繡鋼 | 功率 | 100W |
| 物料類型 | 靶材 | 加工定制 | 是 |
| 是否進口 | 否 | 產地 | 其他 |
●本設備主要用于半導體刻蝕，能夠兼容離子束刻蝕和反應離子刻蝕功能，使用氣態化學刻蝕劑與材料產生反應來進行刻蝕，并形成可從襯底上移除的揮發性副產品，通過真空系統排出，特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。
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