產品詳情
天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷德國ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I
產品型號:ATLEX-500-I
關鍵字:ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I
關鍵字描述:ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源,專為中低占空比應用而設計。
產品介紹:
軟電暈預電離
高壓固態脈沖發生器
激光頭體積<3l
TMC(全金屬陶瓷)容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風冷/可選液冷,主動熱管理
RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成
可沖洗光學支架
能量穩定模式
新一代緊湊型風冷,高重復頻率的準分子激光器,專為中低占空比應用而設計。
參數:
|
氣體介質 |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
|
波長 nm |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
|
高壓開關技術 |
固態開關 |
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|
重復率max. Hz |
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
|
脈沖能量max. mJ |
0.5 |
4.0 |
6.5 |
3.0 |
2.5 |
|
平均功率max. W |
500 |
||||
|
脈沖持續時間 ns |
5-8 |
||||
|
光束尺寸(V x H) mm |
4 x 6 |
||||
|
光束發散角(V x H)mrad |
1 x 2 |
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|
能量穩定性(標準偏差)% |
< 3 |
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尺寸(長x寬x高)mm |
540 x 470 x 370 |
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重量 kg |
60 |
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冷卻 |
冷卻空氣/可選液體 |
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電源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz |
||||
近幾年來,在公司全體員工的開拓進取和團結協作下,天津瑞利光電規模不斷擴大,以年輕的姿態在眾多強手之間逐漸嶄露頭角,得到越來越多客戶的信任和認可,與國內許多高校、研究所、各類研發中心達成了穩定、長久的友好合作。
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