上海氧指數分析儀氧氣質量流量控制器 ALICAT臨界氧指數分析儀氣體質量流量控制器 工作條件
產品詳情
上海氧指數分析儀氧氣質量流量控制器 ALICAT臨界氧指數分析儀氣體質量流量控制器 MC系列氣體質量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質。
艾里卡特MC系列氣體質量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
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