空氣微污染氣體(Airborne Molecular Contamination, AMC)對半導體制程、機房及設備的影響日趨顯著,Muller et al. (1994) 研究指出,在 Class 100 的潔凈室內,AMC沉積于晶圓表面之質量可能為微粒的數萬倍以上,因此,如何解決污染半導體制程的問題是十分重要的課題。為了全面控制AMC,化學濾網的型態、結構、濾材及吸附技術皆有不同功能,一種化學濾網無法同時解決所有的空氣微污染氣體問題,因此各公司每年使用的化學濾網總量更是數以萬計,若能在符合質量條件下,減少一筆為數龐大的成本開銷,是AMC控制上須立即克服的挑戰。
鈺祥企業專注于半導體微污染氣體過濾防治超過30年,推動循環經濟營運模式已有十余年,鈺祥創造了與世界級半導體大廠同步成長的競爭力,透過產學研的密切合作關系,成功通過制程驗證并掌握關鍵控制技術,運用完整的解決方案,持續突破與創新。在維持原過濾效能及質量技術之情況下,去年鈺祥品牌的筒式化學濾網成功協助客戶省下臺幣1億5千元的成本費用,更是省下了超過10%的清運處理費用,并且在環境的影響上能夠降低30%的碳排放量;另外,鈺祥研發之氣密堆棧式之三合一濾網更是運用循環經濟概念開發,從產品結構面思考與設計,從單一片轉變為多片式濾網,采用易拆解設計方案,客戶僅需更換失效目標化學濾網,便能夠協助客戶減少60%的耗材費用。鈺祥企業從產品源頭設計開始,透過各個環節思考,深度且緊密的了解客戶需求與期望,除了獲得客戶的肯定,更于去年(2018)經英國標準協會BSI查核,以迅雷不及掩耳的速度,成為全球第一家制造業通過循環經濟標準BS 8001:2017之企業。
鈺祥不斷精進化學濾網產品研發腳步,依循BS 8001:2017指引,從關鍵資源角度出發,找出循環經濟解決方案,今年更是在產線導入自動化機械手臂,現為臺灣最大的化學濾網供貨商,產品的優質效能獲得許多半導體、面板、光電、封測、太陽能等大廠采用。
在一年一度全球最大的半導體產業盛會SEMICON CHINA 2019,鈺祥將以最新研發的產品技術于3月20日至22日在上海新國際博覽中心進行交流,誠摯地邀請各位先進業界蒞臨參觀(攤位:N2館#2287)。
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