（30）日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）宣布推出Prismo HiT3™ MOCVD設備，主要用于深紫外LED量產。

據介紹，中微Prismo系列MOCVD設備目前已進入全球大多數領先的藍綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3™ 是中微Prismo系列MOCVD設備的最新產品。該設備是適用于高質量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關鍵設備，反應腔最高溫度可達1400度，具有優異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產量而設計，單爐可生長18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長4英寸晶片。

此外，該設備具有新穎的腔體設計，能在高溫環境下生長高質量氮化鋁工藝，并具有業內領先的深紫外LED高產出率；同時具備較長的平均免開腔維護間隔時間，進一步延長正常運行時間并提高產能。真空自動化傳輸系統可以抑制顆粒物的產生，并減少缺陷。自動化升降機構可方便維護操作并有效節省維護時間。

中微公司表示，Prismo HiT3™ MOCVD設備早期的客戶包括國內領先的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫療和科研設備等領域有廣泛應用。

深紫外光幾十年前就被應用于工業和民用消毒殺菌領域。它通過破壞細菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發揮作用。深紫外LED被用于不同波長的殺菌燈中，且與傳統的汞燈相比對環境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現使得深紫外LED產品的需求激增，深紫外LED產品可以消滅這些新生微生物。波長260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領域最先進的技術解決方案（例如杰生半導體的深紫外LED產品）。