目前中國電科(山西)碳化硅材料產業基地已經實現4英寸晶片的大批量產,6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底也已經開始工程化驗證,為客戶提供小批量的產品試用,預計年底達到產業化應用與國際水平相當。
今年3月,中國電科(山西)碳化硅材料產業基地在山西轉型綜合改革示范區正式投產,第一批設備正式啟動。
基地一期項目可容納600臺碳化硅單晶生長爐,項目建成后將具備年產10萬片4-6英寸N型碳化硅單晶晶片、5萬片4-6英寸高純半絕緣型碳化硅單晶晶片的生產能力,是目前國內最大的碳化硅材料產業基地。這一基地的啟動,將徹底打破國外對我國碳化硅封鎖的局面,實現碳化硅的完全自主供應。
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