MP-SeriesMPL240VAC旋轉伺服電機MPLA330PMK72AA羅克韋爾
潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設計中受到關注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關規(guī)范、導則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進，對是否采用FFU回風系統(tǒng)也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。

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控制閥選型的原則根據(jù)工藝條件，選擇合適的結構形式和材料。根據(jù)工藝對象的特點，選擇控制閥的流量特性。根據(jù)工藝操作參數(shù)，選擇合適的控制閥口徑尺寸。根據(jù)工藝過程的要求，選擇所需要的輔助裝置。合理選擇執(zhí)行機構。執(zhí)行機構的響應速度應能滿足工藝對控制行程時間的要求：所選用的控制閥執(zhí)行機構應能滿面足閥門行程和工藝對泄露量等級的要求。在某些場合，如選用壓力控制閥(包括放空閥)，應考慮實際可能的壓差進行適當?shù)姆糯螅匆髨?zhí)行機構能提供較大的作用力。
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