產品詳情
1、產品介紹
1.1 特點和用途
CL系列 分為CL-4，CL-6，CL-8三個規(guī)格
CL系列探針臺測量精度高，操作方便，符合人機工程學。主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。
同類案例：北京大學微納加工實驗室，清華大學材料系，成都電子科技大學，西南科技大學，中科院半導體所，中科院蘇州納米研究院，世紀晶圓，方正微電子等數十客戶。
1.3 探針臺結構功能
總體
規(guī)格特點
● 重量:
CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）
CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）
CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）
● 尺寸：
CL-4約 560mm寬*610mm長*550mm高（帶顯微鏡）
CL-6 約600mm長*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）
CL-8 約640mm長*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）
探針座臺面規(guī)格
● 探針臺臺面平整度：5μm。
● CL-4臺面可以同時容納8-10個探針座
CL-6，CL-8分別可以同時容納10-12個探針座
CL-12臺面可以同時容納12個以上探針座
卡盤（載物臺）規(guī)格 （可選配鍍金卡盤，高溫加熱卡盤）
● 卡盤尺寸分為4" ，6"，8"三種
卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑最小可做到250微米（可根據客戶需求定制孔徑大小），最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，最大能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。
● 卡盤可30度旋轉，方便點測時樣品在X-Y軸方向上調平。（根據客戶需要可定制為360度旋轉，旋轉角度可微調，微調精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。
● 卡盤X，Y軸調節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為4"X4"（6"X6"，8"X8"），移動精度為20um，配合針座的移動可以保證wafer上的die都能夠準確點測到。
針座&探針夾具
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針座規(guī)格 |
CB-200型 |
CB-100型 |
CB-40-T型 |
CB-40型 |
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尺寸 |
90mmW x 130mmD x 90mmH |
90mmW x 130mmD x 90mmH |
52mmW x 96mmD x 76mmH |
38mmW x 62mmD x 45mmH |
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重量 |
1000 克 |
600 克 |
300克 |
200 克 |
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精度 |
0.35 Micron |
0.7 Micron |
2 Micron |
10 Micron |
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牙具 |
200牙/寸 |
牙具 100牙/寸 |
80牙/寸 |
40牙/寸 |
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X-Y-Z線性行程 |
12mmX12mmX12mm |
12mmX12mmX12mm |
12mmX12mmX12mm |
12mmX12mmX12mm |
探針
美國GGB
● 一般普通測試針分兩種，硬針和軟針，針尖直徑在1micron以上稱為硬針，在1micron以下稱為軟針，硬針用來點pad和扎穿pass，軟針用來點bl和fib的mini pad
● 探針針尖為須絲狀固定于探針針杠，針尖為鎢材質，針杠為鎳，漏電在5fa以下。
型號
針尖直徑
針桿直徑
針長
材質
根/盒
軟針類:適用于集成電路內部線路點針
T-4-5
0.2 微米
0.51mm
51mm
硬鎢材質
5
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質針桿上
T-4-10
0.7 微米
0.51mm
51mm
硬鎢材質
5
0.7 微米針須焊接于鎳質針桿上
硬針類:適用于集成電路電極點針
ST-20-0.5
1 微米
0.51mm
38mm
硬鎢材質
10
ST-20-1.0
2 微米
0.51mm
38mm
硬鎢材質
10
ST-20-2.0
5 微米
0.51mm
38mm
硬鎢/鈹銅材質
10
ST-20-5.0
10 微米
0.51mm
38mm
硬鎢/鈹銅材質
10
ST-20-10
20 微米
0.51mm
38mm
硬鎢/鈹銅材質
10
三 加熱臺
品牌型號：CINDBEST HT-400-4
3.1 4英寸卡盤
3.2 直流電源低噪音
3.3 真空吸附：1.中央吸附孔 2.二英寸盤面 3.四英寸盤面
3.4 PID溫度控制器分辨率:1℃
3.5 溫度漂移：≤0.01%FS/℃
3.6 溫度誤差：室溫加溫到300度，任何一區(qū)段+-1%
3.7 40段程序編排，前30段具備自動跳轉功能
