2460 數字源表?源測量單元（SMU）儀器 概述：

2460型大電流數字源表?源測量單元（SMU）儀器為 您帶來先進的Touch, Test, Invent?（觸摸、測試、發明） 技術。它采用創新的圖形用戶界面(GUI)和電容觸摸屏技 術，不僅使測試直覺，而且實現學習曲線最小化，幫助工 程師和科學家更迅速學習、更聰明工作、更容易發明。2460型儀器具有7A直流和脈沖電流能力，已為高功率材 料、器件和模塊特性分析和測試而優化，如碳化硅 (SiC)、 氮化鎵(GaN)、DC-DC轉換器、功率MOSFET、太陽電池 和面板、LED與照明系統、電化學電池與電池組，等等。 這些新的能力加上吉時利數十年開發高精密、高精度源測 量單元（SMU）儀器的專長，使得2460型儀器成為未來 實驗室和機架大電流應用的重要儀器。

2460 數字源表?源測量單元（SMU）儀器 主要特性：

• 在一個緊湊儀器內集成了分析儀、 曲線追蹤儀和I-V系統等多種能力， 成本更低
• 動態范圍寬，105V, 7A DC/7A 脈沖, 100W（最大值）
• 5英寸、高分辨率、電容觸摸屏圖 形用戶界面(GUI)
• 基本測量準確度0.012%，6位半 數字分辨率
• 源和阱(4象限)操作
• 4個“Quickset”模式，用于快速設 置和測量
• 背景敏感的幫助功能
• 前面板輸入香蕉插孔；后面板集 體輸入螺絲連接
• 2460 SCPI與TSP?腳本編程模式
• 前面板USB 2.0存儲器I/O端口， 用于傳輸數據、測試腳本或測試 配置

更迅速學習、更聰明工作、更容易發明
2460型儀器采用5英寸、全彩色、高分辨率觸摸屏，支持直觀操作，幫助 操作人員迅速熟悉儀器，優化整體速度和生產率。基于光標的簡單菜單結構， 使測試配置所需步驟減少50%，而且省去軟鍵儀器普遍使用的繁瑣的多層菜單 結構。內建的背景敏感的幫助功能，支持直觀操作，并把瀏覽單獨菜單的需求 降為最少。這些特性以及2460型儀器的多功能性，簡化了其在基礎測量和先進 測量應用中的操作，無論用戶是否具有使用源測量單元（SMU）儀器的工作經驗。

2460型儀器主界面

2460型儀器基于光標的菜單結構，可以幫助 新用戶迅速和自信地配置測試。

一體化源測量單元（SMU）儀器
2460型儀器基于獲獎的第四代 源測量單元（SMU）平臺，并充分 利用已被證明的吉時利大電流源測 量單元（SMU）儀器（包括2420、 2425和2440型儀器）的能力。該儀 器可提供高度靈活的4象限電壓和電 流源/負載，適合高精密電壓和電流 測量。這款一體化源測量單元（SMU） 儀器可以用作：

2460型儀器功率包絡

• 高精密電源，具有V和I回讀功能
• 真正的電流源
• 數字多用表(數字電壓計、數字電 流計、電阻計和功率計，具有6位 半分辨率)
• 高精度電子負載
• 觸發控制器

2420/2425/2440型	2460型
最大電壓: 60V/100V/40V	最大電壓: 100V
最大電流: 3A/3A/5A	最大電流: 7A
直流功率: 60W/100W/50W	直流功率: 100W
寬頻帶噪聲: 10mVrms 典型值	寬頻帶噪聲: 2mVrms 典型值
掃描類型： 線性、日志、定制、源-存儲	掃描類型： 線性、日志、雙線性、雙日志、定制
5000 點讀數緩存	>250,000 點讀數緩存
>2000 讀數/秒	>3000 讀數/秒
SCPI 編程	SCPI 編程 + TSP 腳本
GPIB, RS-232	GPIB,USB, 以太網(LXI)
前/后面板香蕉插孔	前面板：香蕉插孔 后面板：螺絲端子連接

易用性超越觸摸屏
除了采用先進的觸摸屏，2460型儀器的前面板還提供改進速度、用戶友好性 和可學習性的諸多特性，包括USB 2.0存儲器I/O端口、HELP鍵、旋轉導航/控制 旋鈕、前面板/后面板輸入選擇按鈕、適合基本臺式應用的香蕉插孔。USB 2.0存 儲器端口簡化存儲測試結果和儀器配置，將測試腳本上傳至儀器，以及安裝系統 升級。前面板的所有按鈕都采用背光，提高了低照環境下的可視性。

2460型儀器的高分辨率、電容觸摸屏和前面板控制允許直觀操作，即使新用戶也感到易用。

4種“Quickset”模式簡化了一起設置。 只需輕輕一觸，就可以為不同工作模式 快速配置儀器，無需為這個操作進行間 接配置。

一觸Quickset模式加速測量設置，把測量時間 降到最短。

全面的內建連接性
通過2460型儀器后面板，可以接入后面板接入螺絲端子 連接器、程控控制接口(GPIB、USB 2.0與LXI/Ethernet)、 D-sub 9插針數字I/O端口(用于內部/外部觸發器信號和處理 程序控制)、儀器互鎖控制以及TSP-Link?插孔，從而簡化多 臺儀器測試方案配置，并省去額外適配器附件的花銷。

2460型儀器后面板連接已經優化，以保持信號完整性，并加速系統設置

將原始數據轉化為信息
完整的繪圖窗口可以轉化原始數據，并立即顯示為有用 信息，如半導體I-V曲線和伏安圖。使用2460型儀器的電子表 （Sheet）瀏覽，測試數據還可以以表格形式顯示。該儀器 支持將數據輸出至電子數據表，用于進一步分析，大大提高 研究、臺式測試、設備資格和調試的生產率。

TriggerFlow?構建模塊，適合儀器控制與執行
2460型儀器采用吉時利TriggerFlow觸發系統，便于用戶 對儀器執行進行控制。TriggerFlow圖形的創建與流程圖繪制 基本相同，它采用4個基本的構建模塊：

• 等待 ? 等待一個事件的發生，然后繼續流動
• 分支 ? 當條件滿足時進行分支
• 動作 ? 啟動儀器動作，如測量、源、延遲、設置數字I/O等
• 通知 ? 通知其他設備已發生的事件

TriggerFlow構建模塊允許創建觸發模型，從極簡單到高度復雜的觸發模型。

利用這些構建模塊組合可以通過前面板構建TriggerFlow 模型，也可以通過發送程控命令進行構建。有了TriggerFlow 系統，用戶可以構建各種觸發模型，包括簡單觸發模型以及 多至255模塊等級的復雜觸發模型。2460型儀器還包括基本 的觸發功能，如即時/定時器/手動觸發。

內建數據顯示、繪圖和電子數據表輸出功能， 很容易將測試結果轉化為有用信息。

系統集成與編程靈活性
當2460型儀器配置為多通道I-V測試系統時，嵌入式測試 腳本處理器(TSP?)允許其運行測試腳本，因此用戶可以創建 功能強大的測試應用，并大幅縮短開發時間。TSP技術還提供 無需主機的通道擴展能力。吉時利的TSP-Link?通道擴展總線 采用100 Base T以太網電纜，可以在主從配置中實現多部 2460型儀器與其他TSP儀器的連接，如吉時利2450型數字源 表源測量（SMU）單元儀器、2600B系列系統數字源表源測 量（SMU）單元儀器及3700A系列開關/多用表系統，使之作 為一個集成系統工作。每個GPIB或IP地址的TSP-Link擴展總 線支持32部設備，因此很容易擴展系統，滿足具體的應用需 求。2460型儀器還包括SCPI編程模式，可以充分利用儀器的 各種能力。

并行測試能力
2460型儀器的TSP技術支持多個器件并行測試，可以滿 足器件研究、先進半導體實驗室應用級高吞吐生產測試需求。 這個并行測試能力允許系統中的每臺儀器運行其自身的完整 測試序列，建立完全的多線程測試環境。2460型儀器可并行 運行的測試數量與系統中儀器數量相同。

免費儀器控制啟動軟件
2460型儀器包含KickStart儀器控制/啟動軟件，使用戶無 需編程即可在數分鐘內開始測試。在多數情況下，用戶只需 進行幾次快速測量，繪制數據圖表，并將數據存儲至磁盤， 以便日后在Excel等軟件環境分析數據。KickStart軟件提供以下功能:

• 儀器配置控制，以執行I-V特性分析
• X-Y繪圖、平移和縮放
• 通過電子數據表/表格瀏覽數據
• 保存和輸出數據，用于深入分析
• 保存測試設置
• 屏幕截圖
• 測試注釋
• 命令行輸入，用于發送和接收數據
• HTML幫助
• GPIB、USB 2.0、以太網兼容

KickStart啟動軟件讓用戶在幾分鐘內做好測量準備。

利用現成的儀器驅動程序簡化編程

2460 數字源表?源測量單元（SMU）儀器 技術數據：

電壓規格^{1, 2}

		電壓源			電壓測量 3
量程	最大電流	分辨率	準確度 (23° ± 5°C)1 年±(% 設置 + 伏特)	噪聲 (RMS) (<10 Hz)	分辨率	輸入電阻	準確度 (23° ± 5°C)1 年±(% 讀數 + 伏特)
200.0000 mV	7.35 A	5 μV	0.015% + 200 ?V	1 ?V	100 nV	>10 GW	0.012% + 200 ?V
2.000000 V	7.35 A	50 ?V	0.015% + 300 ?V	10 ?V	1 ?V	>10 GW	0.012% + 300 ?V
7.000000 V	7.35 A	250 ?V	0.015% + 2.4 mV	100 ?V	1 ?V	>10 GW	0.015% + 1 mV
10.00000 V	5.25 A	500 ?V	0.015% + 2.4 mV	100 ?V	10 ?V	>10 GW	0.015% + 1 mV
20.00000 V	4.20 A	500 ?V	0.015% + 2.4 mV	100 ?V	10 ?V	>10 GW	0.015% + 1 mV
100.0000 V	1.05 A	2.5 mV	0.015% + 15 mV	1 mV	100 ?V	>10 GW	0.015% + 5 mV

電流規格 ^{1, 2, 5}

		電壓源			電壓測量3
量程	最大電壓	分辨率	準確度 (23° ±5°C) 41 年±(% 設置 + 安培)	噪聲 (RMS) (<10 Hz)	分辨率 4	輸入電阻 6	準確度 (23° ±5°C)1 年±(% 讀數 + 安培)
1.000000 μA	105 V	50 pA	0.025% + 1 nA	40 pA	10 pA	<100 ?V	0.025% + 700 pA
10.00000 μA	105 V	500 pA	0.025% + 1.5 nA	40 pA	10 pA	<100 ?V	0.025% + 1 nA
100.0000 μA	105 V	5 nA	0.020% + 15 nA	100 pA	100 pA	<100 ?V	0.020% + 10 nA
1.000000 mA	105 V	50 nA	0.020% + 150 nA	1 nA	1 nA	<100 ?V	0.020% + 100 nA
10.00000 mA	105 V	500 nA	0.020% + 1.5 μA	10 nA	10 nA	<100 ?V	0.020% + 1 μA
100.0000 mA	105 V	5 μA	0.020% + 15 μA	100 nA	100 nA	<100 ?V	0.020% + 10 μA
1.000000 A	105 V	50 μA	0.050% + 750 μA	5 μA	1 μA	<100 ?V	0.050% + 500 μA
4.000000 A	21 V	250 μA	0.100% + 3 mA	25 μA	1 μA	<100 ?V	0.100% + 2.5 mA
5.000000 A	10.5 V	250 μA	0.100% + 3 mA	25 μA	1 μA	<100 ?V	0.100% + 2.5 mA
7.000000 A	7.35 V	500 μA	0.150% + 6 mA	125 μA	1 μA	<100 ?V	0.150% + 5 mA

---

溫度系數 (0°?18°C和28°?50°C)： ±(0.10 × 精度指標)/°C

1. 速度 = 1 PLC。
2. 所有規格都在輸出開啟時確保。
3. Accuracies apply to 2- and 4-wire mode when properly zeroed.
4. 6.5-digit 電壓測量 分辨率.
5. 6位半測量分辨率。
6. 使用2460-KIT螺絲端子附件時確保準確度規格。
7. 4線模式。

電阻測量精度(本地或源端測量) ^{1, 2, 3}

量程	缺省分辨率 4	缺省測試電流	一般準確度(23°C ±5°C)1 年, ±(% 讀數 + 歐姆)	增強準確度 5(23°C ±5°C)1 年, ±(% 讀數 + 歐姆)
<2.000000 Ω6	1 μΩ	用戶定義	電壓源 IACC + 測量 VACC	測量 IACC + 測量 VACC
20.00000 Ω	10 μΩ	100 mA	0.05% + 0.003 Ω	0.04% + 0.001 Ω
200.0000 Ω	100 μΩ	10 mA	0.05% + 0.03 Ω	0.04% + 0.01 Ω
2.000000 kΩ	1 mΩ	1 mA	0.05% + 0.3 Ω	0.04% + 0.1 Ω
20.00000 kΩ	10 mΩ	100 μA	0.05% + 3 Ω	0.04% + 1 Ω
200.0000 kΩ	100 mΩ	10 μA	0.05% + 30 Ω	0.05% + 10 Ω
2.000000 mΩ	1 W	10 μA	0.06% + 100 Ω	0.06% + 50 Ω
20.00000 mΩ	10 Ω	1 μA	0.14% + 1000 Ω	0.12% + 500 Ω
>20.0000 mΩ6	?	User defined	電壓源 IACC + 測量 VACC	測量 IACC + 測量 VACC

---

溫度系數 (0°?18°C和28°?50°C)： ±(0.10 ×精度指標)/°C

---

源電流、測量電阻模式：整體不確定性 = I源準確度 + V測量準確度 (4線遠端測量)

---

源電壓、測量電阻模式：整體不確定性= V源準確度 + I測量準確度 (4線遠端測量)

1. 速度 = 1 PLC。
2. 所有規格都在輸出開啟時確保。
3. 正確歸零后，準確度適用于2線和4線模式。 10. 6位半測量分辨率。
4. 6位半測量分辨率。
5. 支持源回讀。偏移補償開啟。
6. 僅源電流測量電阻或源電壓測量電阻。

其他特性

---

最大輸出功率 ? 100W, 4象限源或阱操作。

---

源限幅： ? V_源：±7.35V (≤7A量程), ±10.5V (≤5A量程), ±21V (≤4A量程), ±105V ( ≤1A量程)
I_源：±7.35A (≤7V量程), ±5.25mA (≤10V量程), ±4.2A (≤20V量程), ±1.05mA (≤100V量程)

---

過量程 ? 量程的105%，源和測量

---

調節 ? 電壓：線路：量程的0.01%，負載：量程的0.01% + 100μV。
電流：線路：量程的0.01%，負載：量程的0.01% + 100pA。

---

源限幅 ? 電壓源電流限幅：雙極電流限幅設置為單一值。最小值為量程的10%。
電流源：<典型值的0.1% （1mA步長, R負載 = 10kΩ, 20V量程）。

---

V-限幅 / I-限幅精度 ? 增量為設置的0.3%以及基本指標讀數±0.02%。

---

過沖 ? 電壓源：<典型值的0.1% （滿刻度步長, 電阻負載, 20V量程, 10mA I-限 幅）。
電壓源: <0.1% typical (1 mA step, RLoad = 10 kΩ, 20 V 量程).

---

量程變化過沖 ? 量程變化過沖：對100kΩ的完全電阻負載過沖, 10Hz～20MHz帶寬，臨近量程：<250mV，典型值。

---

輸出建立時間 ? 輸出建立時間：與最終值相差0.1%所需的時間, 20V量程, 100mA I-限幅：<200μs，典型值。

---

最大斜率 ? 最大斜率：1V/μs，100V量程，對20kΩ負載，限幅為100mA (典型值)。0.6V/μs，20V量程，對20kΩ負載， 限幅為100mA (典型值)。

---

過壓保護 ? 過壓保護：用戶可選擇值5% ±0.5V容限。出廠缺省值=無。

---

電壓源噪聲 ? 10Hz?20MHz (RMS)：<4.5mV，針對電阻負載的典型值。

---

共模電壓 ? 250V DC

---

共模隔離 ? >1G Ω, <1000 pF.

---

噪聲抑制(典型值)：

NPLC	NMRR	CMRR
0.01	?	60 dB
0.1	?	60 dB
1	60 dB	100 dB

---

負載阻抗 ? 一般模式：20nF，典型值 。

---

大電容模式 ? 穩定至50μF，典型值。對于≥100μA量程，大電容模式有效。

---

FORCE和SENSE端之間的最大電壓降：5V

---

測量引線最大電阻 ? 1MΩ，針對額定精度。

---

測量輸入阻抗 ? >10 GΩ.

---

保護偏移電壓 ? <300 ?V, 典型值

系統測量速度 ¹

頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數/秒) 典型值，腳本(TSP?)可編程

NPLC	觸發源	對內存測量	對GPIB/USB/LAN測量	對內存的源測量	對GPIB/USB/LAN的源測量
0.01	內部	3050 (2800)	2800 (2500)	1700 (1600)	1650 (1550)
0.01	外部	2300 (2100)	2150 (2000)	1650 (1550)	1600 (1450)
0.1	內部	540 (460)	530 (450)	470 (410)	470 (400)
0.1	外部	500 (420)	500 (420)	460 (390)	450 (350)
1.00	內部	59 (49)	59 (49)	58 (48)	58 (48)
1.00	外部	58 (48)	58 (48)	57 (48)	57 (46)

頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數/秒) 典型值，SCPI可編程

NPLC	觸發源	對內存測量	對GPIB/USB/LAN測量	對內存的源測量	對GPIB/USB/LAN的源測量
0.01	內部	3000 (2800)	3000 (2790)	1700 (1600)	1550 (1500)
0.01	外部	2330 (2150)	2330 (2150)	1650 (1550)	1500 (1450)
0.1	內部	540 (460)	540 (460)	470 (410)	460 (400)
0.1	外部	510 (430)	510 (430)	470 (400)	460 (390)
1.00	內部	59 (49)	59 (49)	58 (48)	58 (48)
1.00	外部	58 (49)	58 (49)	58 (48)	58 (48)