產品詳情
? 腔體采用不銹鋼材料,保證系統材料的穩定性;
? 采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底;
? 支持自動手動模式,方便客戶靈活操作;
? 智能自動模式:可以設置為2次清洗,2次進氣,每次清洗時間,進氣穩定時間都可以設定;
? 手動模式:手動模式下,系統可以啟動定時功能,清洗時間到,系統自動停止工作;
? 氣壓穩定功能(選配):根據需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速,均衡腔體內壓力;
? 智能氣路功能(選配):根據需要,可以配置質量
? 流量計系統,可以設置不同的清洗段落配置不同氣體的流速;
? 等離子體清洗不會在表面產生損傷層,表面質量得到保證;不污染環境,保證清洗表面不被二次污染。

