產品詳情
半導體制造是極其精密的工藝，對生產環境的潔凈度、化學純度和溫度有近乎苛刻的要求。PTFE（聚四氟乙烯）因其獨特的性能，成為制造這類器件的理想選擇：
1.極高的化學穩定性：
PTFE幾乎不受任何化學試劑的腐蝕，包括強酸（硫酸、硝酸）、強堿、強氧化劑和有機溶劑。
在濕法制程（如清洗、蝕刻）中，花籃需要長時間浸泡在各種高純度、高腐蝕性的化學藥液中。使用PTFE可以確保花籃本身不被腐蝕，從而避免污染藥液和硅片。
2.極低的表面能和防粘性：
PTFE表面非常光滑，具有“不粘性”。
這可以防止硅片與花籃粘附，便于硅片的取放。同時，也使得附著在花籃表面的污染物（如顆粒、金屬離子）更容易被清洗掉，保證了極高的潔凈度。
3.高純度與低析出：
半導體級的PTFE經過特殊處理，其本身含有的金屬離子雜質和顆粒物極低。
在超純凈的環境中，它不會析出污染物，避免了這些污染物在高溫或化學作用下轉移到硅片上，影響芯片的性能和良率。
4.優異的熱穩定性：
PTFE能在-200°C至+250°C的溫度范圍內長期工作。
其出色的絕緣性能避免了靜電對敏感電路的影響。
二、.在半導體制造中的應用場景
四氟花籃帶提手主要用于半導體前道工藝的濕法加工區域，具體包括：
清洗工序：用于去除硅片表面的顆粒、有機物和金屬污染物。
蝕刻工序：在化學藥液中精確地去除特定的材料層。
去膠工序：去除光刻后留下的光刻膠。
濕法擴散/薄膜前后的傳輸和暫存。
在這些工序中，花籃會帶著硅片一起浸入化學槽、超純水清洗槽和干燥設備中。提手的設計方便了自動化機械臂或操作員進行跨槽、跨設備的搬運。
