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AWG是個將平面波導線路（PlanarLightwaveCircuit）技術應用于商品化的元件。其做法為在矽晶圓上沉積二氧化矽（SiO2）膜層。接著在上層覆以保護層即可完成。由于AWG使用與一般半導體相同的制程再利用微影制程（Photolithography）及反應式離子蝕刻法（ReactiveIonEtch）定義出陣列波導及分光元件等。
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