產(chǎn)品詳情
一、活套氣動(dòng)真空球閥技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)類別 | 常見參數(shù)范圍 / 說明 |
|---|---|
| 閥體材質(zhì) | 不銹鋼（304/316/316L）為主（耐腐蝕、耐真空），部分可選鑄鋼或鋁合金。 |
| 公稱通徑（DN） | DN15～DN300（標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格），支持定制更大口徑；真空環(huán)境下常用規(guī)格：DN40～DN200。 |
| 真空度范圍 | 適用真空度：10<sup>5</sup> Pa（大氣壓）～10<sup>-5</sup> Pa（高真空），具體取決于密封等級(jí)。 |
| 公稱壓力（PN） | 正壓端：≤1.0MPa（部分型號(hào)支持 1.6MPa）；負(fù)壓端：完全真空（-0.1MPa）。 |
| 適用溫度 | -20℃～150℃（常規(guī)氟橡膠密封）；高溫場(chǎng)景可選金屬波紋管密封（-60℃～400℃）。 |
| 連接方式 | 活套法蘭連接（ISO-KF、ISO-K、CF 法蘭），適配真空管道快速安裝，支持卡箍或?qū)高B接。 |
| 結(jié)構(gòu)形式 | 浮動(dòng)球式（低真空）、固定球式（高真空）；O 型密封（截?cái)啵 型密封（調(diào)節(jié)型可選）。 |
| 密封材質(zhì) | 丁腈橡膠（NBR）、氟橡膠（FKM）、硅橡膠（VMQ）、金屬密封（如波紋管 + 金屬閥座）。 |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 氣動(dòng)（單作用 / 雙作用氣缸），氣源壓力 0.4～0.7MPa，響應(yīng)時(shí)間≤3s（高速型可≤1s）。 |
| 泄漏率 | 高真空級(jí)：≤1×10<sup>-9</sup> Pa?m3/s；超高真空級(jí)：≤1×10<sup>-12</sup> Pa?m3/s（金屬密封）。 |
| 執(zhí)行機(jī)構(gòu)參數(shù) | 氣缸材質(zhì)：鋁合金或不銹鋼，防護(hù)等級(jí) IP65，支持防爆型（Ex d IIB T4）。 |
二、核心結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
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活套法蘭設(shè)計(jì)
- 閥體兩端采用可拆卸活套法蘭，通過卡箍或螺栓與管道連接，無需焊接即可快速安裝，避免焊接高溫對(duì)真空密封性能的影響。
- 適配真空標(biāo)準(zhǔn)接口（如 KF 用于低真空，CF 用于高真空），通用性強(qiáng)。
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真空密封性能
- 采用彈性密封結(jié)構(gòu)（如氟橡膠 O 型圈）或金屬波紋管密封，確保在真空狀態(tài)下閥座與球體緊密貼合，防止外界空氣滲入。
- 金屬密封型（如波紋管 + 金屬閥座）可承受更高溫度和極端真空環(huán)境（如宇宙模擬真空艙）。
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氣動(dòng)快速響應(yīng)
- 氣缸驅(qū)動(dòng)扭矩大，開關(guān)速度快（90° 旋轉(zhuǎn)＜3 秒），適合需要緊急切斷或頻繁啟閉的真空系統(tǒng)。
- 可配真空壓力開關(guān)或位置反饋裝置（如限位開關(guān)、4-20mA 信號(hào)），實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制與監(jiān)控。
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耐腐蝕與清潔性
- 不銹鋼閥體表面拋光處理（Ra≤0.8μm），內(nèi)壁光滑不易積塵，適用于高潔凈真空環(huán)境（如半導(dǎo)體、制藥）。
- 密封材質(zhì)可選食品級(jí)橡膠，滿足衛(wèi)生級(jí)真空工藝要求（如真空干燥、真空蒸餾）。
三、應(yīng)用范圍
1. 真空鍍膜與半導(dǎo)體行業(yè)
- 場(chǎng)景：真空鍍膜機(jī)、光刻機(jī)、刻蝕機(jī)的真空管道控制，用于隔離大氣與真空腔室、調(diào)節(jié)氣體流量。
- 介質(zhì)：真空環(huán)境下的惰性氣體（如 Ar、N?）、工藝氣體（如 CF?、NF?）、水蒸氣。
- 需求：高真空度（10<sup>-5</sup> Pa 級(jí)別）、快速啟閉、無泄漏，避免污染鍍膜腔體。
2. 真空熱處理與冶金
- 場(chǎng)景：真空爐、真空熔煉設(shè)備、真空退火爐的進(jìn)氣 / 排氣控制，防止空氣進(jìn)入影響工藝效果。
- 介質(zhì)：真空狀態(tài)下的保護(hù)氣體（如 H?、N?）、爐內(nèi)廢氣。
- 需求：耐高溫（金屬密封型可耐 400℃）、抗熱沖擊，適應(yīng)頻繁的真空 - 正壓切換。
3. 化工與制藥真空系統(tǒng)
- 場(chǎng)景：真空蒸餾、真空濃縮、真空干燥設(shè)備的管道控制，如反應(yīng)釜抽真空、溶劑回收。
- 介質(zhì)：有機(jī)溶劑（如乙醇、丙酮）、蒸汽、腐蝕性氣體（如 HCl、Cl?）。
- 需求：耐腐蝕（選不銹鋼 + 氟橡膠密封）、防介質(zhì)泄漏（如有毒溶劑），支持防爆設(shè)計(jì)。
4. 航空航天與科研
- 場(chǎng)景：航天器真空模擬艙、宇宙環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、粒子加速器的真空管道截?cái)唷?
- 介質(zhì)：超高真空（10<sup>-10</sup> Pa 以下）環(huán)境下的純凈氣體，需金屬密封確保無泄漏。
- 需求：極端真空穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命（數(shù)萬次啟閉）、抗輻射，適應(yīng)嚴(yán)苛科研條件。
5. 食品與包裝行業(yè)
- 場(chǎng)景：真空包裝機(jī)、真空冷凍干燥機(jī)的氣體控制，如抽真空、充氮封口。
- 介質(zhì)：空氣、食品級(jí)氮?dú)猓竺芊獠馁|(zhì)無毒、無異味（選硅橡膠或食品級(jí)氟橡膠）。
- 需求：快速開關(guān)（匹配生產(chǎn)線節(jié)奏）、易清潔（活套結(jié)構(gòu)便于拆卸清洗）。
四、選型關(guān)鍵要點(diǎn)
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真空度等級(jí)匹配
- 低真空（10<sup>5</sup>～10<sup>2</sup> Pa）：選橡膠密封 + KF 法蘭，成本較低。
- 高真空（10<sup>2</sup>～10<sup>-5</sup> Pa）：需金屬密封 + CF 法蘭，確保極低泄漏率。
- 超高真空（＜10<sup>-5</sup> Pa）：必須采用金屬波紋管密封 + CF 法蘭，且閥體需嚴(yán)格去氣處理。
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溫度與介質(zhì)兼容性
- 低溫場(chǎng)景（如液氮管道）：選不銹鋼閥體 + 硅橡膠密封（耐 - 60℃）。
- 腐蝕性介質(zhì)：優(yōu)先選 316L 不銹鋼 + 氟橡膠（FKM），或內(nèi)襯 PTFE（需確認(rèn)真空環(huán)境下襯里穩(wěn)定性）。
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驅(qū)動(dòng)與控制需求
- 自動(dòng)化系統(tǒng)：配氣動(dòng)定位器 + 4-20mA 反饋，實(shí)現(xiàn)流量調(diào)節(jié)（選 V 型球閥）。
- 緊急切斷：選雙作用氣缸 + 快速排氣閥，確保斷電 / 斷氣時(shí)快速關(guān)閉（需確認(rèn)氣缸保持力）。
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清潔度與認(rèn)證
- 半導(dǎo)體 / 制藥行業(yè)：要求閥體表面電解拋光（EP）、通過 FDA 或 ISO 14644-1 認(rèn)證。
- 防爆環(huán)境：需選防爆型氣缸（Ex 認(rèn)證），避免火花引發(fā)危險(xiǎn)。
五、維護(hù)與注意事項(xiàng)
- 定期檢漏：使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)密封性能，尤其是高真空系統(tǒng)。
- 避免硬物損傷：真空環(huán)境下閥體內(nèi)外壓差大，防止異物撞擊球體導(dǎo)致密封面破損。
- 密封件更換周期：橡膠密封件壽命約 1～3 年（視使用頻率），金屬密封件可長(zhǎng)達(dá) 5 年以上。
- 安裝方向：活套法蘭需確保兩側(cè)管道同軸，避免螺栓受力不均導(dǎo)致泄漏。
