壓縮機的維修或配件更換：對不太嚴重的磨損及拉毛現象，可以由鉗工用油石研磨光滑。轉子軸頸和軸封動靜環表面不得有任何銹蝕、裂紋等缺陷。主軸頸表面經磨光加工后應仔細測量其尺寸，并以此為依據調整主軸承。主軸承如磨損嚴重，超過了與軸配合的間隙限度，應更換。如采用澆鑄軸承合金的方式，必須保證內表面與軸承孔的同軸度。止推軸承損壞或游隙增大，必須更換新的。并應測出其真空游隙大小，以此為依據配軸承調整墊。所有的墊片及“O”型圈如果損壞必須更換。墊片可以自己加工，但螺栓孔附近不能出現折斷或裂縫，以免泄漏。墊片應選用優質材料。“O”型圈應選用制冷劑的材質。將機體兩端面、吸排氣端座平面上的密封膠清洗干凈。

一種為格柵（如圖7所示），主要格柵的疏密來調節FFU的出口氣流。另外一種為動力曲線（如圖8所示），主要曲線的形狀來誘導氣流的流動，同時也曲線上的孔的疏密分布來調節氣流。過濾器FFU所使用的過濾器和潔凈廠房所用的其它過濾器一樣，這里不再贅述。金屬防護網金屬防護網主要起到對過濾器的保護作用，大部分都防靜電。刀緣當FFU使用在一些特別的場合時，帶刀緣的FFU可使用液槽密封，從而能滿足高密封性的。
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壓縮機軸封的更換：在密封隔離環和旋轉密封部分之前，確保密封隔離環銷不接觸密封槽的底部。確保旋轉密封內徑上的套筒（定位螺釘下方）完全就位，以保護軸。時，密封座和防塵套密封的小心接觸面必須涂上清潔的冷凍油。干式啟動可能導致密封損壞，密封隔離環。確保止口環與軸上的銷接合。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。優點：容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

壓縮機清潔軸；用細砂布打磨輕微劃痕，確保鍵槽邊緣無毛刺。擦拭干凈并在軸上涂抹干凈的冷凍油：不要在密封件上使用潤滑脂.：如果您的密封殼墊片不是唇形密封和擋圈設計，請忽略對它們的引用.中密封殼墊片外徑上的o形圈除外。將密封殼體墊片放置在一個堅實的表面上，使彈簧套朝下。將新唇形密封放入密封殼隔套中，使唇部朝下。使用套件中的工具按壓或輕敲唇形密封，如圖所示。在唇形密封上方的凹槽中新的擋圈。將用清潔冷凍油潤滑的新O形圈到密封殼隔套上。

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 壓縮機配件的更換，更換時將所有零件清洗干凈，用壓縮空氣吹干。將所需使用的工具準備齊全，清洗干凈。將主軸承按原位裝入軸承孔內，并測量軸承內徑，使內徑符合與轉子軸頸配合的間隙。在吸氣端座與機體的貼合面上均勻涂抹密封膠。將吸氣端座靠在機體吸入端，串入部分螺栓承擔重量。壓入定位銷后，將螺栓緊固。滑閥及其導向托板。導向托板先以定位銷定位后方可用螺栓固定。將吸入端主軸承孔及機體內孔涂抹干凈的、與運行時使用的相同型號潤滑油，裝入陽轉子及陰轉子。后裝的轉子要慢慢旋入，不可強行壓進機體內。將陰、陽轉子靠緊在吸氣端座上，測量轉子排氣端面與機體排氣端面的尺寸差值，此數值為吸排氣間隙之和。在排氣端座與機體的貼合面上均勻涂抹密封膠。

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