在壓縮機進行大修前，將滑閥卸載到“0”位，正常停機，切斷電源。截斷與壓縮機相連的管路，將壓縮機內的制冷劑和潤滑油排出后，方可拆卸壓縮機。拆卸時要養成好的習慣，不同部位的零件要分別擺放，并作好必要的裝配標記。拆下與壓縮機相連的管路、聯軸器、地腳螺栓后，將壓縮機吊運至工作場所。

揚州石化晴綸廠M326A多級離心式壓縮機維修
 

對開式滑動軸承的過程，包括軸承的清洗、檢查、刮研、裝配、間隙調整和壓緊力的調整。軸承的包括軸瓦與軸承座和軸承蓋的。 3）軸承間隙的檢測及調整 ，頂間隙：軸頸與軸瓦的頂間隙可用壓鉛法檢查，鉛絲直徑不宜大于頂間隙的 3 倍。 側間隙：軸頸與軸瓦的側間隙采用塞尺進行測量，單側間隙應為頂間隙的 1/2~1/3。 軸向間隙：對受軸向負荷的軸承還應檢查軸向間隙，檢查時，將軸推至極端位置，然后用塞尺或千分表測量。

有基礎的必須按照尺寸，澆注基礎，三個機腳位置須校正水平，并粉光，待干燥96小時后，在三個機腳位置放置51mm厚的橡皮墊，使基礎達到減震之功用然后放置離心機，并旋緊螺母；無基礎的則無須澆注前必須謹慎保管，留意電機、電控裝置、液壓系統、氣控系統的防潮及所有易銹零部件的防銹蝕，并留意對機器外表面的保護。電控柜(氣控箱)應放置在干燥、透風和無腐蝕氣體的地點，而且應在主機四周(可以隔離)。

壓縮機維修步驟如下：拆下吸器過濾器、吸氣止回閥。拆下能量指示器。取下定位銷，平行取下吸氣端蓋，取出油活塞和平衡活塞。取定位銷時只能拔出而不能砸出來，一定要先取出定位銷，再卸下所有的螺栓，防止吸氣端蓋的重量全部作用在定位銷上，將定位銷壓彎。拆下軸封蓋，取出軸封。不要碰傷動、靜環。取下定位銷，拆下排氣端蓋。取下軸承壓蓋、防松螺母、墊片、止推軸承、調整墊等。拆卸防松螺母要使用隨機專用工具并先起開防松墊片的鎖片。隨時作好標記，分別擺放。取出定位銷后，拆下排氣端座。利用專用吊環螺栓將主動轉子緩慢、平穩取出，不要與機體碰撞。這時從動轉子是隨之轉動的。取出從動轉子。取出滑閥。

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減壓閥的工作原理示意圖如圖所示:當P1變化時減壓閥的出口首先表現為P2P2反饋系統出口管傳到控制閥，使Pt=PkP2；從而L發生相應變化，導致Pe的變化，經壓力導管導致Pk的相應變化，Pt與Pk達到新的平衡，主閥的過流面積H相應變化。P1變化，而H的流量不變。P2始終是原整定的低壓值。當流量變化時，減壓閥自我調節工作原理也如同上。QPF-F5型氣動平衡閥又稱主減壓閥，用于氣動回路中，對壓縮空氣的壓力值進行調節，使設定的壓力值近于恒定。
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潔凈室里存在大量可以節約能源的地方，暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。率的設計和率設備需要很大的前期投入。那種小處節約大處浪費的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。斜齒齒輪泵的研究斜齒齒輪泵的研究目前也是國內研究者所關注的熱點之一，甘學輝、趙亮等對斜齒齒輪泵的流量特性、漏流特性研究、流量脈動特性進行了研究，為斜齒齒輪泵的研究奠定了理論基礎。齒輪泵噪聲的控制齒輪泵的噪聲是由流量脈動和嚙合沖擊而引起，控制噪聲要從降低流量脈動和嚙合齒廓問的相對滑動速度入手。齒輪泵的變量方法研究由于齒輪泵的嚙合特點使齒輪泵的流量調節一直是一個難題，只能從結構上去考慮解決方法，目前尚無有效的解決方案。