近日，易度儀器儀表有限公司宣布，其自主研發的通用型層流質量流量計系列產品通過中國計量科學研究院的計量器具型式評價試驗，獲得中國首個層流質量流量計計量器具型式批準資質證書（簡稱：CPA證書）。

　　一直以來，小微氣體、液體流量的精確測量和控制被西方發達國家技術壟斷，這項技術在眾多高端制造領域，包括半導體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術。聚焦用戶過程控制，半導體300多項關鍵工藝中，有光刻、氣相沉積、單晶生產等超過70%的工藝項點都與微流量測量相關；石墨烯等新材料的生產制造過程中，最常用的方法增強等離子的化學氣相沉積，也需要精準配給氣體和液體；等離子體發動機作為未來航天發展方向，在生產制造工藝和地面測試環節，需要精確測量小于1ml/min稀有氣體的質量流量，這是等離子體發動機穩定工作的關鍵測試工藝。

　　面對國外技術封鎖，自2011年開始，易度儀器遵循概念論證—關鍵技術驗證—方案驗證—原理樣機—工程樣機—產品樣機—產品的技術路線，通過自主創新探索微流量測量領域。當時，在這一領域有兩條技術方向：一是以傳熱學原理為基礎的熱式質量流量計，主要由歐美日的六七家公司占據全球絕大部分市場，是技術的主流，技術成熟度較高，但國內一直無法掌握熱式傳感器這一技術核心；另外一條是以“哈根泊肅葉定理”為基礎的層流質量流量計，其核心的層流傳感器研發由于技術難度更高，制造工藝極為復雜，讓那些生產熱式質量流量計的國際頂級廠商也望而卻步。

　　幾十年來，全球范圍內唯一取得重大層流技術突破的只有一家美國公司，但離實現大規模商業應用還有不小的距離。最終，考慮到熱式技術已趨于成熟，發展空間趨于飽和，在充分調研后，易度儀器選擇了更加先進，擁有廣闊技術發展空間，但技術門檻更高的層流質量流量計技術路線，開始專注于攻克核心技術——“通用型層流傳感器”的研發。

　　易度儀器成功研發出的層流質量流量計和控制器，不僅能實現對氣體和液體質量流量的測量，還能精準控制，是國內第一款自主研發的層流原理數字化產品。經過無數次技術改進，產品正日趨成熟，實現了在-20到70攝氏度環境下的正常使用，精度控制在1.0級以內，重復性0.1%，響應時間達到0.01S。目前該項技術已獲國家發明專利兩項，同時在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內，也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術，產品經過國家最高權威機構的驗證，成為中國首家通過認證的通用型層流質量流量計生產商。

　　編輯點評

　　小微氣體、液體流量的精確測量和控制被西方發達國家技術壟斷。打破技術枷鎖，易度儀器成功研發出的層流質量流量計和控制器，目前該項技術已獲國家發明專利兩項，同時在全球PCT檢索中具有新穎性。