精度參數上，交叉滾子導軌的直線度誤差可控制在 0.001mm/100mm 以內，重復定位精度可達 ±0.0005mm，旋轉精度（偏擺、俯仰）可控制在 1 角秒以內，遠高于普通直線導軌。此外，它通過特殊的預緊工藝，可實現無間隙運動，滿足超高精度定位需求。
典型應用中，交叉滾子導軌是半導體晶圓檢測設備的核心導向部件，帶動檢測探頭實現納米級精度的移動，確保對晶圓表面缺陷的精準識別；在光學鏡頭研磨機中，它能保證研磨頭的運動軌跡精度，使鏡頭表面粗糙度控制在 Ra0.001μm 以下；在航空航天領域的慣性導航設備中，交叉滾子導軌為陀螺儀提供穩定的導向支撐，確保導航精度符合嚴苛標準。
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