產品詳情
新柯隆濺射機RAS-1100c的規格參數可能因具體型號和配置而有所差異,但通常包括以下幾個方面:
聯系:韋小姐 17687705997
設備類型:高性能濺射沉積系統
型號:RAS-1100C
生產廠家:新科隆
二、濺射源規格
濺射源類型:磁控濺射源(可能包含射頻濺射源等其他類型)
靶材尺寸:通常支持多種尺寸的靶材,具體尺寸需根據設備配置確定(例如,某些應用中可能使用45.6cm×12.7cm×0.5cm的靶材)
濺射功率范圍:0-3000W(具體功率可能根據實際應用需求進行調整)
三、真空系統規格
真空度:通常可達到≤10^-6Pa的高真空度,以確保濺射過程的順利進行和薄膜質量
真空泵類型:可能包括機械泵、擴散泵、分子泵等,具體配置需根據設備型號確定
四、沉積室規格
沉積室尺寸:足夠容納所需尺寸的樣品和濺射源
樣品臺規格:可支持多種尺寸的樣品放置,并可實現樣品的旋轉和移動以優化沉積效果
五、控制系統規格
控制方式:計算機和觸摸屏控制,實現自動化操作
控制參數:包括濺射功率、射頻頻率、工作氣壓、溫度、沉積時間等,可根據實際需求進行精確設置和調整
六、其他規格
電源要求:根據設備配置和實際應用需求確定具體的電源要求(如電壓、電流、頻率等)
輔助設備:可能包括加熱器、冷卻器、氣體控制系統等,以提供濺射過程中所需的輔助條件
設備尺寸和重量:具體尺寸和重量需根據設備型號和配置確定
七、性能特點
高性能:采用先進的濺射技術,能夠制備高質量、高均勻性的薄膜
高穩定性:系統結構設計合理,運行穩定可靠
自動化程度高:控制系統先進,操作簡便,易于學習和使用
多功能性:適用于多種材料的薄膜沉積,滿足不同客戶的需求
請注意,以上規格參數僅供參考,具體參數可能因設備型號、配置以及生產廠家的不同而有所差異。如需獲取準確的規格參數,請直接聯系新科隆或相關設備供應商進行咨詢。
新科隆濺射機RAS-1100c是一款高性能的濺射沉積設備,其應用廣泛,包括但不限于以下幾個方面:
一、半導體領域
在半導體制造過程中,新科隆濺射機RAS-1100c可用于制備各種薄膜材料,如金屬薄膜、合金薄膜、氧化物薄膜和氮化物薄膜等。這些薄膜在半導體器件中起著至關重要的作用,如作為導電層、絕緣層、保護層或功能層等。
二、光學領域
在光學領域,新科隆濺射機RAS-1100c可用于制備光學薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學器件中具有重要的應用價值,如提高光學器件的透光性、反射性或濾光性能等。
三、磁學領域
在磁學領域,新科隆濺射機RAS-1100c可用于制備磁性薄膜材料,如鐵磁薄膜、亞鐵磁薄膜等。這些薄膜在磁記錄、磁存儲和磁傳感器等器件中具有廣泛的應用前景。
四、能源領域
在能源領域,新科隆濺射機RAS-1100c可用于制備太陽能電池板上的薄膜材料,如透明導電薄膜、減反射薄膜等。這些薄膜有助于提高太陽能電池的光電轉換效率和穩定性。
五、其他領域
此外,新科隆濺射機RAS-1100c還可用于制備各種功能薄膜材料,如超導薄膜、生物醫用薄膜等。這些薄膜在超導材料、生物醫學工程等領域具有潛在的應用價值。


