產品詳情
產品名稱:SWAGELOK-隔膜閥-ALD3
產品型號:ALD3
產品介紹:高純度 ALD3 和 ALD6 閥旨在為半導體制造商提供可靠、高速的前體氣體計量,用于在沉積室中逐層構建微芯片。高純 ALD3 和 ALD6 閥門可設置為常閉和常開氣動驅動,它們有多種配置可供選擇,包括兩端口直管和彎管設計;二通、三通和四通多通閥和多閥歧管;以及 1.125 英寸(限 ALD3 系列)和 1.5 英寸平臺中的二端口和三端口模塊化表面安裝閥。可用的熱致動器、位置傳感器、螺線管和可選的用于容納加熱器筒的主體孔都可以根據用戶的特定過程為用戶提供額外的價值。
性能特點:
具有高速驅動的高循環壽命
流量系數范圍從 0.27 到 0.62,可提供自定義流量系數
使用可選的熱致動器可完全浸入高達 392°F (200°C) 的溫度
適用于采用標準 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的高純度應用
模塊化表面安裝、管對接焊和 VCR端接
電子或光學致動器位置感應選項
ALD3 和 ALD6 隔膜由鈷基高溫合金材料組成,具有強度和耐腐蝕性;閥體由 316L VIM-VAR 不銹鋼制成,適用于高純應用;閥座由全氟化高純度 PFA 組成,具有廣泛的化學兼容性和抗溶脹性和抗污染性。
選型指南:
產品結構與細節:
可選配置:
產品尺寸:
產品應用:
參數:
上海連航機電科技有限公司是國內的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件,提供過程控制技術詢問,工業自動化集成設計與改造,成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。為緊跟工業科技發展步伐,連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲中心,一舉鞏固了采購能力,擴大了由工廠直采加產品集散帶來的二度成本優勢,進而提升了終端服務效率與水平。客戶廣泛分布于全國各大地區與行業,主要有:汽車制造、機械設備制造、電力、石化、采礦、鋼鐵、有色金屬、電氣儀表制造、食品飲料、橡膠制品、醫藥生產、造紙、紡織、印刷、水泥、玻璃、環境設備、軍需工業等。
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