產品詳情
美國ALICAT-LL1系列數字式質量流量控制器
產品概述
Alicat 的 LL1 系列數字式質量流量計可快速精確地測量過程氣體的質量流 量、體積流量、壓力和溫度。
Alicat 的LL1 系列質量流量計采用專利的內部補償型層流壓差技術，使得大 流量范圍下氣體仍舊保持層流運動，充分補償因壓力和溫度引起的體積流 量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有 Alicat 質量流 量計均具有 NIST 可溯源校準證書。
LL1 系列質量流量計內部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝
方向不敏感。Alicat 提供全的用戶支持，包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的質保。
Alicat 的 LL1 系列質量流量計帶有集成式多功能數字顯示屏，用戶可通多顯示屏按鈕操作在內置 30 種標準 氣體中進行任意切換，同時開放模擬通訊和 RS-232 數字通訊模式。我們為用戶提供廣泛的定制化服務以滿 足各類特殊的項目需要，如：用于危險環境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區和 CSA(美國)1 類 2 區認證產品等。另有 耐腐蝕系列(LLF4 系列)、低壓損系列(LD12 系列)和便攜式系列(LP16 系列)質量流量計可選。
產品應用
Alicat 的 LL1 系列數字式質量流量計廣泛應用于各行業領域，如：科學研究、泄漏測試、環境監測、真空 鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。多變量測量、 多種氣體標定以及 200:1 量程可調比使得僅用一臺 Alicat 質量流量計便可取代多臺設備發揮的功效。最高 可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 10 毫秒的測量響應速度最大程度優化了氣體測量過程。
LL1 系列質量流量計可測量從 0-0.5 SCCM 到 0-5000SLPM 的滿量程的任何流量。
LL1 系列質量流量計技術參數
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 5000 slpm 滿量程
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規格 |
LL1 系列質量流量計 |
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精度(調零后標準條件下) |
±(0.8%Rdg +0.2%F.S) |
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高精度可選項(調零后標準條件下) |
±(0.4%Rdg +0.2%F.S) 高精度(可選項)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設備 |
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精度(雙向流量型號) (調零后標準條件下) |
±(0.8%Rdg +0.2%F.S) F.S:負滿量程到正滿量程 |
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重復性 |
±0.2%F.S |
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零點漂移&滿量程漂移 |
0.02% F.S / oC /Atm |
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工作范圍 /量程可調比 |
0.5% ~100% F.S/ 200:1 |
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可測流量 |
128% F.S |
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典型響應時間 |
10 毫秒(可調整) |
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啟動預熱時間 |
<1 秒 |
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運行工況 |
LL1 系列質量流量計 |
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標準工況 (STP) |
25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia(三種工況供切換) |
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工作溫度 |
?10 ~ +50 oC |
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工作濕度范圍 (非冷凝) |
0 ～100% |
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工作壓力 |
145 psig |
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對安裝方式/方向的要求 |
無 |
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防護等級 |
IP40 |
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材質 |
303 & 302 不銹鋼, Viton®, 硅膠 RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍,鋁 若有特殊材質需求，請聯系Alicat |
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通訊/ 電源 |
LL1 系列質量流量計 |
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單色/彩色 LCD 顯示屏 |
同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
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數字輸出信號 1(可選項) |
RS-232/RS-485/PROFIBUS3 |
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模擬輸出信號 2(可選項) |
0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA |
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第二道模擬輸出信號 2(可選項) |
0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA |
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電信號接口 |
8 針 Mini-DIN / DB9 / DB15/ 6 針工業接頭 |
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供電電壓 |
7-30 Vdc (15-30 Vdc，當選擇 4-20 mA 輸出) |
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供電電流 |
0.040Amp (+輸出電流，當選擇 4-20 mA 輸出) |
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產品性能 |
LL1 系列質量流量計 |
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內置 90 種氣體可選? |
標準兼容氣體：乙炔,空氣,氬氣, 正丁烷, 二氧化碳, 一氧化碳, 乙烷, 乙烯, 氦氣, 氫氣, 異丁烷, 氪 氣, 甲烷, 氖氣, 氮氣, 一氧化二氮, 氧氣, 丙烷, 六氟化硫, 氙氣,A-25,A-75,A1025, C-2, C-8, C-10, C-25,C-75, P-5,Star29 等等... 若您需要的氣體不在以上列出的氣體或混合氣體中，請聯系我們，Alicat 可校準一系列多達八種氣體 成分的復雜混合氣體 LLF4 防腐蝕系列另可兼容以下氣體：氨氣、硫化氫、一氧化氮、三氟化氮、丙烯、二 氧化硫、二氧化氮含量不超過.0.5%的惰性載氣、氣體制冷劑 |
物理規格和尺寸
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滿量程質量流量計 |
滿量程壓損 1(psid) 排氣到大氣中 |
外觀尺寸 |
連接接口 2 |
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0.5 sccm 至 1 sccm |
1.0 |
3.9”H x 2.4”Wx 1.1”D |
M-5 (10-32) 母(內螺紋) (Buna-N 表面密封至 1/8” NPT 母) |
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2 sccm 至 50 sccm |
1.0 |
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100 sccm 至 20 slpm |
1.0 |
4.1”H x 2.4”Wx 1.1”D |
1/8” NPT 母 |
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50 slpm |
2.0 |
4.4”H x 4.0”Wx 1.6”D |
1/4” NPT 母 |
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100 slpm |
2.5 |
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250 slpm |
2.1 |
5.0”H x 4.0”Wx 1.6”D |
1/2” NPT 母 |
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500 slpm |
4.0 |
5.0”H x 4.0”Wx 1.6”D |
3/4” NPT 母 (2000SLPM 可選配 1-1/4” NPT 母) |
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1000 slpm |
6.0 |
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1500 slpm |
9.0 |
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2000 slpm |
5.0 |
5.3”H x 5.2”Wx 2.9”D |
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3000 slpm |
7.1 |
5.3”H x 5.2”Wx 2.9”D |
1-1/4” NPT 母 |
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