產品詳情
簡單可靠的氣體分析解決方案
在線氣體分析系統
四級質譜檢漏
高靈敏度傳感器和智能操作的結合，使MLS211 成為泄漏測試的完美解決方案。
全壓力范圍測量
對制程的監控壓力范圍高達1x10-7 至1000 mbar
原位分析、監測、定量化學反應結果。
全新軟件
全新開發的操作軟件，更加易用可靠。所有測量結果均可保存上傳至 地方。新一代高效氣體分析解決方案，智能軟件，操作簡便，緊湊設計。
All in one
全新的 MLS 211匹配有高性能的渦輪分子泵和隔膜泵,無油的 高真空環境為質譜的分析提供本底,不同的采樣系統可以 為您的氣體分析提供廣泛的測試解決方案；普適性的測量程序，優質的集成高科技組件。
典型應用
殘留氣體分析
對真空系統中殘留氣體的分析提供了解決方案， 很多應用要求對殘余氣體的組成或分壓進行監測，直至達到所期望的極限，我們的MLS 可以完美的測試殘余氣體組分。
關于材料的表面性能、解吸行為、純度和密封性測試，以及工藝氣體的組成的測試。該質譜系統均可以完成測試，它還能為用戶提供對真空室狀況的重要信息。
完好的電池(紅色)和泄漏電解液的電池掃描比對
泄漏檢測
MLS 211具有特定的氣體泄漏檢測模式，可以通過軟件控制來激活。
此功能使用戶更容易在真空系統中發現任何泄漏。
DMC 的泄漏測試1.7e-5mbar.I/s
過程觀察
MLS211可以在高達300 amu 的測量范圍內觀察到任意數量的選定質量強度。可設定報警循環閾值給選定的質量。如果它們高于或低于期望的極限，信號可以通過數字輸 出提供給更高等級的控制系統。這允許MLS211 提供實時過程觀察和控制。EVN116 (選配)氣體管控閥系統要適應相關制程的壓力需要，以及一個另外集成的截止閥可 以快速的在系統泄漏時關閉并保護質譜系統。
質量保證和過程優化
可選定幾個特定的制程一定時間范圍內氣體濃度的變化， 監視氣體成分，具有定量測定和確定工藝氣體的純度和種類的能力,以及監測與真空鍍膜工藝有關的氣體成分的能力，被認為是工藝文件和質量保證的一個重要工具。可追蹤整個工藝流程，全過程測量 以及分析，無需停止測量。所有的測量結果可以導出以進行進一步的分析。
呼吸過程測試(特定版本)
通訊接口信息
| I/O選項 | 模擬輸出 | 模擬輸入 | 數字輸出 | 數字輸入 |
| 數量 | 8 | 8 | 10 | 5 |
| 規格 | 0-10V | (-10-+10V) | Vout=24V | Vin=24V |
| 分辨率 | 16 bit | 16 bit | － | － |
| 應用程序示例 |
測量值； 例：離子電流 濃度比； 數據傳輸到更高等級的系統。 |
讀取外部參數； 例：壓力、溫度、流速 |
閥門驅動； 自由切換量程 |
啟動或停止測量任務的方式外部信號 |
技術參數
| 渦輪分子泵 | HiCube Eco | |||||
| 功率 | 170W | |||||
| 電壓 | 110-240V;50/60Hz | |||||
| 對氦的抽速 | 67l/s | |||||
| 前級泵的抽速 | 1m3/h | |||||
| 極限壓力 | <1·10-7hpa | |||||
| 真空規管 | PKR 361 皮拉尼/冷陰極規 | |||||
| 測量范圍 | 1·10-9-1·103hpa | |||||
| 進樣系統閥組 | EVN 116 氣體計量/截止閥 | |||||
| 流量 | 可調流量范圍 5 ·10-6 -3 ·103 hPa l/s | |||||
| 連接法蘭 | DN 16 ISO-KF | |||||
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| 檢測器 | Faraday（F) | C-SEM/Faraday（F) | ||||
| 質量范圍 | 1-100u | 1-200u | 1-300u | 1-100u | 1-200u | 1-300u |
| 四極桿 直徑/長度 | 6mm/125mm | |||||
| 最小可檢測分壓，Faraday | 4·10-13hpa | 5·10-13hpa | 7·10-13hpa |
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| 最小可檢測分壓，C-SEM |
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3·10-15hpa | 4·10-15hpa | 5·10-15hpa |
| Ar 靈敏度 Faraday | 5·10-4A/hpa | 4·10-4A/hpa | 3·10-4A/hpa | 5·10-4A/hpa | 4·10-4A/hpa | 3·10-4A/hpa |
| 最大操作壓力，Faraday | 5·10-4hpa | |||||
| 最大操作壓力，C-SEM |
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5·10-5hpa | 5·10-5hpa | 5·10-5hpa |
| 相鄰質量干擾（40/41） | <10ppm | <20ppm | <50ppm | <10ppm | <20ppm | <50ppm |
| 最大工作溫度，分析單元 | 200℃（當開啟SEM時最大150℃） | |||||
| 工作溫度 | 5-50℃ | |||||
| 烘烤溫度 | 300℃ | |||||
| 對接法蘭 | DN 40 CF-F | |||||
| 分辨率在10%峰高處 | 0.5-2.5u | |||||
| 掃描速度 | 1ms-16s/u | |||||
| 峰值比重線性 | ±0.5% | |||||
| 通訊接口 | Ethemet | |||||
| 供電 | 100-240V AC,50/60Hz | |||||
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| MLS211 | ||||||
| 全重 | 25.5-26.2kg | |||||
應用咨詢和服務
應用咨詢
ACT應用工程師將分析您的應用并就如何優化氣體分析測試給出建議
服務和支持選項
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