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低壓直流伺服電機真空兼容半導體行業應用真空位移臺絲桿導軌模組用控制精度1微米

數量(臺)	價格
99	999.00元/臺

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發貨地址：廣東深圳市
發布日期：2025-12-17
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深圳市深空創想科技有限公司

實名認證企業認證

企業地址：廣東 > 深圳市

營業執照：已審核
經營模式：生產加工-私營獨資企業
所在地區：廣東深圳市
家家通積分：11475分

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詳細參數
品牌	深空創想	型號	80110-VM
加工定制	是	額定電壓	24-48
額定功率	1.5kw	額定電流	18.1A
額定轉速	1000r	最大轉速	3000r
額定轉矩	1401N.m	適用范圍	真空高溫
外形尺寸	60/85/120	產地	深圳

產品詳情

真空位移臺 - 高真空環境精密定位專家

產品概述
深空創想專業級真空環境用精密位移臺，采用超低出氣材料與真空優化設計，可在10?3Pa及以上真空環境中實現納米級精密定位，滿足高潔凈度工藝需求。

核心技術
- 真空密封系統：全密封結構與磁流體傳動技術
- 低釋氣材料：不銹鋼主體+陶瓷組件+特種工程塑料
- 潔凈驅動方案：直線電機或真空兼容步進電機
- 精密導向系統：交叉滾柱導軌或空氣軸承設計

性能參數
- 行程范圍：50mm-300mm（支持定制）
- 定位精度：±0.1μm（高可達±10nm）
- 真空兼容：10?3Pa～10??Pa（支持烘烤至150℃）
- 重復定位：±0.05μm
- 移動速度：1-100mm/s可調

主要應用
- 半導體制造：光刻機對準、晶圓檢測、芯片封裝
- 真空鍍膜：基片精確定位、多層膜沉積
- 科研儀器：
- 電子顯微鏡樣品定位
- 同步輻射光源實驗裝置
- 表面分析儀器樣品臺
- 微納加工：聚焦離子束、電子束直寫設備
- 光學檢測：真空環境下的光學元件測試

選型建議
1. 真空等級匹配
- 明確工作真空度要求
- 確認是否需要烘烤功能
- 評估出氣率控制標準

2. 性能參數選擇
- 根據應用確定行程需求
- 明確定位精度和速度要求
- 考慮負載能力及穩定性

3. 安裝配置
- 確定臺面尺寸和安裝孔位
- 選擇適合的驅動方式
- 考慮多軸組合需求

質量控制
- 每臺產品經過真空環境性能測試
- 提供出氣率及潔凈度檢測報告
- 支持半導體設備配套認證
- 專業技術團隊提供應用方案

深空創想真空位移臺——在潔凈純凈的真空環境中，實現微米級的精準定位，助力高端制造與前沿科研突破精度極限。