產品詳情
真空伺服電機 - 高真空環境的精準動力解決方案
核心特點
深空創想專為真空環境研發的特種伺服電機,采用超低出氣材料與全密封設計,確保在10?3Pa至高真空環境下穩定運行,保持卓越的定位精度和動態響應性能。

關鍵技術
材料工藝:采用不銹鋼殼體、無氧銅繞組、聚酰亞胺絕緣材料
密封技術:全焊接密封結構,軸封采用磁流體密封技術 潤
滑方案:固體潤滑或特種真空潤滑脂,確保超低出氣率
溫度適應:支持高溫烘烤除氣,工作溫度范圍-20℃至+150℃
主要應用
半導體制造:光刻機、刻蝕機、PVD/CVD設備內部驅動
真空鍍膜:卷繞鍍膜、光學鍍膜設備的精密傳動
科研儀器:電子顯微鏡、粒子加速器、真空分析設備
航天領域:空間環境模擬設備、衛星部件測試裝置
選型建議 明確真空度要求(低真空/高真空/超高真空)
確認工作溫度范圍及是否需要烘烤功能
評估負載特性與運動控制精度需求
考慮系統兼容性與安裝空間限制
產品優勢
出氣率<10?11 Pa·m3/s·cm2 保持IP68同級密封性能
支持定制化設計與特殊認證
提供完整真空適配解決方案



