主營產品：上海諧波減速機|哈默納科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | SHA32Y120CG-B12B2, |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態 | 均勻載荷 |
| 傳動比級數 | 單級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 分流式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現貨 | 現貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 擺線式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉速 | 1450rpm | 額定功率 | 15kw |
| 輸出轉速范圍 | 111rpm | 許用扭矩 | 1782N.m |
| 使用范圍 | 工業 | 減速比 | 88 |
| 產地 | 日本 | ||
CMP通常稱為化學機械拋光（chemical mechanical planarization，CMP）或拋光哈默納科機械磨頭諧波SHA32Y120CG-B12B2。化學機械平坦化是實現多層金屬技術的主要平坦化技術，它通過硅片和一個拋光頭之間的相對運動來平坦化硅片表面，在硅片表面和拋光頭之間有磨料，并且施加一定壓力。CMP設備工作原理，為平坦化加工原理圖，哈默納科機械磨頭諧波SHA32Y120CG-B12B2）為帶有多個磨頭的CMP設備示意圖。在拋光時一個磨頭上裝有一個硅片，在傳送和拋光過程中，磨頭依靠真空來吸附硅片。拋哈默納科機械磨頭諧波SHA32Y120CG-B12B2光時磨料由磨料噴嘴噴涂到拋光墊上，磨頭和轉盤的旋轉運動實現了硅片的拋光。磨料與硅片的化學反應促進了拋光效果。
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